氧化鈮靶材
產品介紹
以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態并高速沖擊背管表面形成致密涂層，從而制備出高純度、高致密度NbOx旋轉靶材。
應用領域
Low-E鍍膜玻璃
薄膜太陽能電池
TFT-LCD
半導體電子
產品中心
參數規格
| 組份（wt%） | 氧化鈮 |
| 純度（%） | ≥99.9 |
| 密度（g/cm3） | ≥4.8 |
| 雜質含量 | Ta≤200 Si≤80 Al≤30 Cu≤30 Ti≤100 Fe≤80 |
| 雜質總和≤1000 | |
| 電阻率（Ω·cm） | ≤0.2 |
| 背管材質 | 采用304/316L不銹鋼（無磁） |
| 靶材尺寸 | 按照圖紙要求加工 |
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